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Back to topSemiconductor Wafer Bonding: Science and Technology (Hardcover)
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Description
Bonding - eine Technik zum "Verschwei en" von Halbleiter-Wafers ohne "Klebstoff" - wird in der Mikroelektronik, Energieelektronik, Mikromechanik, Optoelektronik und anderen Bereichen verbreitet eingesetzt. Dieser Band sammelt und systematisiert die in der Literatur verstreuten Informationen zum Wafer-Bonding; es finden sich beispielsweise Kapitel zum Bonding bei Raumtemperatur, zur W rmebehandlung, zum Bonding ungleicher Materialien und strukturierter Wafers. (01/99)